Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid
Schriftenreihe Kompetenzen in Keramik / Publication series competencies in ceramics, Band 23
Bernd Joedecke
Hrsg.: Alexander Michaelis; Fraunhofer IKTS, Dresden
2014, 163 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Dresden, TU, Diss., 2014
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0727-5

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Inhalt
Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen.
Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen untersucht, deren Einflüsse betrachtet und Möglichkeiten zur Verringerung aufgezeigt.
Mit optimierter Prozesstechnik konnte der Aufbau von AlN-W-HTCC-Demonstratoren erfolgreich durchgeführt werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin, dass die Wolframkarbid-Bildung im Vergleich zur Wolframborid-Bildung nur einen geringen Einfluss auf den Flächenwiderstand der W-Metallisierung hatte.
Durch grundlegende Untersuchungen an den entwickelten W-Metallisierungen in verschiedenen Sinterzuständen konnte ein Modell zum Sinterverhalten der W-Metallisierung skizziert werden.
Im Gesamtergebnis zeigt die Arbeit, dass neben den verwendeten Werkstoffen weiterhin die thermische Prozesstechnik betrachtet werden muss.

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