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Abscheidung von kohlenstoffbasierten Schichten im Grobvakuum mittels Mittelfrequenz-Plasma-CVD
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 6
Torsten Michler
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
1998, 106 S., 75 Abb., 9 Tab., Softcover
Fraunhofer IRB Verlag
ISBN 978-3-8167-5226-4
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 6
Torsten Michler
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
1998, 106 S., 75 Abb., 9 Tab., Softcover
Fraunhofer IRB Verlag
ISBN 978-3-8167-5226-4
– nicht mehr lieferbar –
Publikationslisten zum Thema:
Fraunhofer IST, amorpher Kohlenstoff, Anlagentechnik, Duplex, Mittelfrequenz, PACVD, Schichteigenschaft,
Fraunhofer IST, amorpher Kohlenstoff, Anlagentechnik, Duplex, Mittelfrequenz, PACVD, Schichteigenschaft,
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