Fraunhofer IPMS (6):

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Sascha Bott
Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala
Hrsg.: Fraunhofer IPMS
2017, 172  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Sascha Bott
Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala
Hrsg.: Fraunhofer IPMS
2017, 172  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Johannes Müller
Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
Hrsg.: Fraunhofer IPMS, Dresden
2015, 240  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Johannes Müller
Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
Hrsg.: Fraunhofer IPMS, Dresden
2015, 240  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Johannes Müller
Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
Hrsg.: Fraunhofer IPMS, Dresden
2015, 240  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Wenke Weinreich
Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
Hrsg.: Fraunhofer CNT, Dresden
2013, 193  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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