Buch: Entwicklung einer automatischen Testumgebung für Ferninfrarot-Bauelemente
Entwicklung einer automatischen Testumgebung für Ferninfrarot-Bauelemente
Alexander Utz
Hrsg.: Fraunhofer IMS, Duisburg
2012, 183 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0419-9

kostenloser Download als PDF-Datei

Inhalt
Die Erweiterung von rein elektrischen Schaltungen hin zu mikro-elektro-mechanischen-Systemen (MEMS) bedeutet gleichzeitig stark steigende Anforderungen an deren Test. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Konzeption, mathematischen Modellierung, Umsetzung sowie Charakterisierung und Optimierung eines umfassenden Testkonzepts für CMOS-basierte MEMS am Beispiel eines am Fraunhofer IMS entwickelten und gefertigten Fern-Infrarot Imagers auf Basis von Bolometern als Sensorelemente.
Hierzu wird zunächst eine Analyse des Prozessflusses zur deren Herstellung durchgeführt und Möglichkeiten zum Testen während der einzelnen Prozessschritten analysiert. Anschließend wird die Umsetzung eines umfassenden Testkonzepts beschrieben. Die entwickelte Testumgebung erlaubt den umfassenden, entwicklungs- und produktionsbegleitenden Test der IRFPAs zu jedem Zeitpunkt der Prozessierung.
Neben der Konzeption und Umsetzung der konkreten Testumgebung wird ein mathematisches Modell vorgestellt, welches die Untersuchung abstrakter FIR Testumgebungen im Hinblick auf deren theoretisch erreichbare Messunsicherheit und Präzision erlaubt.

Verfügbare Formate

Softcover
EUR 43.00 (* inkl. MwSt.)
Sofort lieferbar

 

* Alle Preise verstehen sich inkl. der gesetzlichen MwSt. Lieferung deutschlandweit und nach Österreich versandkostenfrei. Informationen über die Versandkosten ins Ausland finden Sie hier.