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Ivan Perfilov
Maschine und Technologie für die Bahnerosion mit gasförmigem Dielektrikum zur Herstellung von Mikrostrukturen
Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
Hrsg.: Eckart Uhlmann, Thomas Bergs, Jörg Krüger; Fraunhofer IPK, Berlin; TU Berlin, Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb -IWF-
2022, 149  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Ivan Perfilov
Maschine und Technologie für die Bahnerosion mit gasförmigem Dielektrikum zur Herstellung von Mikrostrukturen
Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
Hrsg.: Eckart Uhlmann, Thomas Bergs, Jörg Krüger; Fraunhofer IPK, Berlin; TU Berlin, Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb -IWF-
2022, 149  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Wenke Weinreich
Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
Hrsg.: Fraunhofer CNT, Dresden
2013, 193  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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