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Hunter John King
Low-Temperature Silicon Deposition by Means of Hot-Wire Chemical Vapour Deposition
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 47
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2022, 114 S., num., mostly col. illus., Softcover
Fraunhofer Verlag
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Low-Temperature Silicon Deposition by Means of Hot-Wire Chemical Vapour Deposition
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 47
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2022, 114 S., num., mostly col. illus., Softcover
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Robert Külls
Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, Band 28
Hrsg.: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier; Fraunhofer EMI, Freiburg/Brsg.
2016, 224 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, Band 28
Hrsg.: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier; Fraunhofer EMI, Freiburg/Brsg.
2016, 224 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Robert Külls
Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, Band 28
Hrsg.: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier; Fraunhofer EMI, Freiburg/Brsg.
2016, 224 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, Band 28
Hrsg.: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier; Fraunhofer EMI, Freiburg/Brsg.
2016, 224 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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WOAR 2014
Workshop on Sensor-based Activity Recognition
Hrsg.: Gerald Bieber, Mario Aehnelt, Bodo Urban; Fraunhofer IGD, Institutsteil Rostock
2014, 117 S., num., mostly col. illus. and tab., Softcover
Fraunhofer Verlag
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Workshop on Sensor-based Activity Recognition
Hrsg.: Gerald Bieber, Mario Aehnelt, Bodo Urban; Fraunhofer IGD, Institutsteil Rostock
2014, 117 S., num., mostly col. illus. and tab., Softcover
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Benedikt Michel
Physikalisch-chemische Eigenschaften von SiO2-Schichten auf plasmabehandelten Siliziumoberflächen
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 34
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 201 S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Physikalisch-chemische Eigenschaften von SiO2-Schichten auf plasmabehandelten Siliziumoberflächen
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 34
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 201 S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
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Marko Eichler
Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 32
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2011, 126 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
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