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Veronika Schneider
Nitridgebundenes Siliziumnitrid: Wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium
Hrsg.: Fraunhofer IISB, Erlangen
2015, 166  S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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