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Helena Dillmann
Einsatz von Polyelektrolyt-Multischichten für das temporäre Waferbonden
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 45
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2020, 180  S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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