Darstellung und Simulation von AlN/GaN-Übergitterstrukturen für elektronische Bauelemente
Science for systems, Band 46
Christian Manz
Hrsg.: Oliver Ambacher; Fraunhofer IAF, Freiburg
2020, 108 S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab., Softcover
Freiburg, Univ., Diss., 2019
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-1566-9

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Inhalt
Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.

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Publikationslisten zum Thema:
Fraunhofer IAF, electronic devices & materials, condensed matter physics (liquid state & solid state physics), nanotechnology, Halbleiter, Transistoren, Epitaxie, Simulation, Übergitter, Physiker, Ingenieur,

 

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