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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd.56
Stephan Barth
2015, 124 S., 2 Farbabb. 225 mm, Softcover
Books on Demand
ISBN 978-3-95908-013-2
Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd.56
Stephan Barth
2015, 124 S., 2 Farbabb. 225 mm, Softcover
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Fraunhofer FEP,
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