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Stephan Barth
Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Dresdner Beiträge zur Sensorik Bd.56
2015, 124   S., 2 Farbabb. 225 mm, Softcover
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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliz
2015, 144   S., 11 Farbabb. 225 mm, Softcover
TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH

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