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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliz
2015, 144 S., 11 Farbabb. 225 mm, Softcover
TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH
ISBN 978-3-95908-014-9
2015, 144 S., 11 Farbabb. 225 mm, Softcover
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Fraunhofer FEP,
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