Nitridgebundenes Siliziumnitrid: Wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium
Veronika Schneider
Hrsg.: Fraunhofer IISB, Erlangen
2015, 166 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2015
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0950-7

Inhalt
Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.

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