Buch: Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, Band 28
Robert Külls
Hrsg.: Klaus Thoma, Stefan Hiermaier; Fraunhofer EMI, Freiburg/Brsg.
2016, 224 S., zahlr. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag
ISBN 978-3-8396-0902-6

Inhalt
In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.

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