Bücher, CDs, Broschüren (4):

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Stephan Altmannshofer
Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie
Hrsg.: Fraunhofer EMFT, München
2019, 228  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Matthias Kachel
Der Einfluss des Mikro- und Nassstrahlens auf die Haftung und die tribologischen Eigenschaften von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten (a-C:H) auf Stahl (100Cr6)
Fraunhofer IWM Forschungsberichte, Band 20
Hrsg.: Fraunhofer IWM, Freiburg
2018, 198  S., zahlr., teils farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Tobias Grotjahn
PECVD Prozessüberwachung - Wiederholbare Nutzung technischer Plasmen
Fraunhofer IWM Forschungsberichte, Band 6
Hrsg.: Fraunhofer IWM, Freiburg/Brsg.
2015, 142  S., zahlr. teilw. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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Artur Laukart
Heißdraht-CVD von Siliziumschichten - Untersuchungen zur Stabilisierung des Abscheideprozesses
Berichte aus Forschung und Entwicklung IST, Band 36
Hrsg.: Fraunhofer IST, Braunschweig
2013, 184  S., zahlr., z. T. farb. Abb. u. Tab., Softcover
Fraunhofer Verlag

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